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可安裝探針

1172系列，CP1072系列

測(cè)試步數(shù)

999999步

測(cè)量參數(shù)和測(cè)量范圍

電阻測(cè)量

40.00 μΩ ~ 40.00 MΩ

絕緣電阻測(cè)量

1.000 kΩ ~ 500.0 MΩ

電容測(cè)量

100.0 fF ~ 10.00 μF

漏電流測(cè)量

1.000 μA ~ 10.00 mA

高壓電阻測(cè)量

1.000 kΩ ~ 500.0 MΩ

電容絕緣電阻

1.000 kΩ ~ 10.00 MΩ

開路測(cè)量

4.000 Ω ~ 4.000 MΩ

短路測(cè)量

400.0 mΩ ~ 40.00 kΩ

判定范圍

?99.9% ~ ＋999.9%, 或絕對(duì)值

綜合定位精度

□20μm (注: 根據(jù)檢查條件有所限制)

測(cè)點(diǎn)最小間距

50μm (使用探針CP1072-01時(shí), L-R手臂間距)

測(cè)量時(shí)間

Max. 100步/秒 (0.1mmX-Y移動(dòng)，2手臂同時(shí)探測(cè) 電容測(cè)試)

可測(cè)試基板尺寸

50(W) × 50(H) ~ 610(W) × 510(H)mm, 厚度 0.1mm~ 3.2mm

最大可測(cè)區(qū)域

610mm(W)× 510mm(H)

基板固定

水平放置，真空吸附

電源

AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V單相 (訂購時(shí)指定) 50/60 Hz, 最大功耗：3 kVA

體積及重量

1303(W) × 1194(H) × 1167(D)mm±10mm (突出部分除外) 900 kg±50kg